在大規模集成電路、平板顯示、半導體照明和太陽能光伏等以半導體工藝為核心的產業,其制造工藝中包含多道化學處理過程。隨著制造工藝的發展和產能的提升,全自動的高純化學品配送系統得到了廣泛的應用。
高純化學品通??梢苑譃槲宕箢悾?/p>
· 酸類:包括強酸 (H2SO4、HCl、HF、HNO3等) ,弱酸 (CH3COOH、H3PO3等),有機酸 (ACT690、EKC830等),無機酸 (例如H2SO4)
· 堿類:包括強堿 (NaOH、KOH等),弱堿 (例如CH3OH)
· 有機溶劑類:例如IPA、Acetone等
· 氧化物:例如H2O2
· 其他有機物質:例如HMDS、Photoresist光阻液等
按照原液的包裝方式不同,高純化學品供應系統分為:桶裝 (200L Drum)、桶槽 (1000L IBC)、槽車 (Lorry)供應系統;稀釋及混配供應系統。并根據日用量的不同,以上系統皆可以配置儲存罐以滿足大流量供應的需求。
按照供應方式的不同,高純化學品供應系統分為: 氣動泵或磁力泵供應系統;真空吸取式供應系統;氮氣加壓供應系統。
基于對高純化學品系統的深刻理解和豐富經驗,上海晶禾電子科技有限公向客戶提供性能先進、質量優異、價格合理的高純化學品供應系統的設計、材料提供、設備制造、項目施工、咨詢顧問的整體工程交鑰匙服務。正帆科技提供的高純化學品供應系統各子系統包括:各類高純化學品的供應、稀釋、混配系統;化學品供應設備運行管理系統;化學品供應供應管路系統;化學品系統駐廠運行服務。